在選擇坩堝形狀時,個原則是和諧k-cell的de加jia熱re絲si的de形xing狀zhuang匹pi配pei,滿man足zu這zhe個ge前qian提ti之zhi後hou再zai來lai考kao慮lv其qi他ta的de方fang麵mian。這zhe是shi因yin為wei如ru果guo形xing狀zhuang不bu匹pi配pei,加jia熱re就jiu會hui不bu均jun勻yun,一yi方fang麵mian測ce溫wen不bu準zhun會hui影ying響xiang實shi驗yan可ke重zhong複fu性xing,另ling一yi方fang麵mian坩gan堝guo各ge個ge部bu分fen熱re膨peng脹zhang不bu均jun勻yun可ke能neng會hui導dao致zhi損sun壞huai。接jie下xia來lai再zai考kao慮lv其qi他ta方fang麵mian的de問wen題ti。原yuan教jiao旨zhi的dek-cell想象一個封閉的盒子個封閉的盒子,盒子裏有一些可升華/蒸發的材料。在一定溫度下,材料表麵升華/蒸發的分子數與冷凝/lengningdefenzishuxiangtong。cishi,zhengqiyalishigaiwenduxiacailiaodebaohezhengqiyali。cishi,ruguowomenzaihezishangdakaiyigexiaodong,fenzishujiangcongzhegedongzhongshechu,shuliudedaxiaowanquanqujueyucailiaodezhengqiyali,jihezidewendu,jiMBE該技術可以準確地控製分子束流的基本原理。但在實際應用中,在大多數情況下MBE蒸發源坩(gan)堝(guo)的(de)開(kai)口(kou)相(xiang)當(dang)大(da),因(yin)為(wei)開(kai)口(kou)的(de)大(da)束(shu)流(liu)可(ke)以(yi)很(hen)大(da),可(ke)以(yi)有(you)相(xiang)對(dui)可(ke)接(jie)受(shou)的(de)生(sheng)長(chang)速(su)度(du),所(suo)以(yi)實(shi)際(ji)的(de)蒸(zheng)發(fa)源(yuan)在(zai)蒸(zheng)汽(qi)壓(ya)力(li)準(zhun)確(que)平(ping)衡(heng)甚(shen)至(zhi)不(bu)平(ping)衡(heng)的(de)條(tiao)件(jian)下(xia)工(gong)作(zuo)。這(zhe)些(xie)坩(gan)堝(guo)形(xing)狀(zhuang)的(de)區(qu)別(bie)是(shi)束(shu)流(liu)的(de)大(da)小(xiao)和(he)分(fen)布(bu)。錐(zhui)形(xing)坩(gan)堝(guo)離(li)平(ping)衡(heng)狀(zhuang)態(tai)遠(yuan),束(shu)流(liu)高(gao),分(fen)布(bu)角(jiao)大(da),束(shu)流(liu)控(kong)製(zhi)不(bu)準(zhun)確(que)。瓶(ping)形(xing)接(jie)近(jin)平(ping)衡(heng),束(shu)流(liu)低(di),分(fen)布(bu)角(jiao)小(xiao),但(dan)束(shu)流(liu)控(kong)製(zhi)準(zhun)確(que),我(wo)用(yong)它(ta)蒸(zheng)發(fa)Na等deng等deng高gao蒸zheng汽qi壓ya力li材cai料liao。直zhi筒tong型xing各ge方fang麵mian性xing能neng適shi中zhong,適shi合he大da多duo數shu材cai料liao,是shi我wo使shi用yong多duo的de類lei型xing。考kao慮lv到dao不bu同tong蒸zheng發fa源yuan之zhi間jian的de交jiao叉cha汙wu染ran,錐zhui形xing坩gan堝guo更geng嚴yan重zhong。我wo不bu喜xi歡huan使shi用yong錐zhui形xing坩gan堝guo的de另ling一yi個ge現xian實shi原yuan因yin是shi:當蒸發源傾斜時,坩堝中的東西很容易分散……這是一些基於我個人經驗的參考數據:如果你想追求1nm/s高速生長,襯底為2寸以上晶圓錐形坩堝,如果生長速度為0.1nm/s級或以下,並且經計算束流可以均勻覆蓋整個襯底——150C時蒸氣壓在10^4 mbar以下:直筒坩堝150C時蒸氣壓在10^4 mbar以上:酒瓶坩堝。