● 質量流量可控混合
● 壓強控製
● 在小流量下快速響應(~秒)
● 無死體積
● 小內部體積
● 洗氣,脈衝式進氣.
● 小流量下極端混合比例
● 安全
高壓反應實驗平台(High Pressure Stages)
上一篇:高壓反應原位掃描探針顯微鏡(Reactor-STM)
下一篇:高壓-超高真空微反應器(HP UHV Reactor)