通過程序方式控製MBE係統中的蒸發源和樣品溫度,shutter開關;記錄真空、溫度等實驗數據。
● 可控製溫度、氣體流量、電機,讀取溫度和真空計
● 支持實驗配方的編輯、預覽、導入和導出
● 可對單獨蒸發源進行控製,或對係統所有蒸發源進行控製
● 可針對不同蒸發源設定參數
● 數據庫管理實驗數據,可導出為通用格式
● 自動保存實驗數據,防止斷電後數據的丟失
分子束外延生長程控係統(MBE Controller)
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